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基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备: 收藏
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引用; 《压电与声光》2024年第3期46卷 409-413,428页; 作者：贺龙李淑娴苗斌李加东陈颖苗小浦吴森大连大学机械工程学院辽宁大连116622 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室江苏苏州215123 中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室江苏苏州215123 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072; 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探...; 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。; 来源：详细信息评论

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