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倒装再分布技术及应用
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《电子与封装》2009年 第12期9卷 1-4,10页
作者:任春岭 高娜燕 丁荣峥无锡中微高科电子有限公司江苏无锡214035 
随着半导体技术的发展,封装工艺与圆片工艺的联系越来越密切,特别是倒装技术的发展及广泛应用。由CSP到WL-CSP,再到TSV技术,封装技术的发展越来越迅速。倒装技术是发展的关键技术,它包括再分布技术凸点底层金属(UBM)技术凸点制备技...
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