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检索条件"主题词=凹槽拐角"
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凹槽栅MOSFET凹槽拐角的作用与影响研究
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《半导体技术》1998年 第5期23卷 18-21,39页
作者：孙自敏 刘理天 李志坚清华大学微电子所 
短沟道效应是小尺寸ＭＯＳＦＥＴ中很重要的物理效应之一，凹槽栅ＭＯＳＦＥＴ对短沟道效应有很强的抑制能力。通过对凹槽栅ＭＯＳＦＥＴ结构、特性的研究，发现凹槽拐角对凹槽栅ＭＯＳＦＥＴ的阈值电压及特性有着显著的影响。凹槽拐角...
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