摘要：在本文中我们通过文献调查和实际光路调研发现经典的迈克尔逊干涉仪的测量精度较设计精度之间存在巨大的差异,其中分光板与补偿板和反射镜m1与反射镜m2之间存在的角度误差引起了光程的不确定性误差,这直接引起了测量精度较低的问题。针对上述问题,本文使用一体长方体设计的分光补偿结构和反射镜误差消除装置从根上解决了经典迈克尔逊干涉仪测量精度较低的问题。在本实验中我们选用760nm的He-Ne激光进行测量,通过大量重复实验取平均值的方法测得激光波长为759nm,测量精度为99.87%,实验误差为0.13%。

摘要：实现对微小变化量的精确测量对于生产生活和相关科研领域都具有极其重要的意义,现阶段较为常用的脉冲测距仪和相位法测距仪都无法满足生产生活的需要,因此,我们通过使用基于一体长方体分光补偿结构的干涉仪具有更高测量精度的特点设计制造了新型微米级位移测量仪。因测量精度的高低取决于干涉光的波长的大小,因此本装置仅提供最低测量精度,在使用760nm激光波长进行干涉时的测量精度为0.00038mm。

摘要：在本文中通过对现阶段所使用的经典迈克尔逊干涉仪进行调研和实验,我们发现影响迈克尔逊干涉仪测量精度的主要因素为分束镜和补偿镜之间存在一定的角度误差,反射镜和地面之间的角度不是严格的垂直。上述两种情况都将直接在光路内引入不确定的光程误差,因此在本文中我们通过改变分束镜和补偿镜的空间结构消除了分束镜和补偿镜角度问题引入的不确定性的光程误差。针对反射镜存在的误差,我们利用微元放大原理和阿贝原理设计制造了误差消除装置。当分束镜、补偿镜和反射镜存在的误差消除之后,我们使用改进后的干涉仪对氦氖激光的波长进行了测量,测量精度为99.91%。