摘要：热像差是导致光刻物镜工作状态下像质劣化的主要原因之一。针对同轴两反式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的结构特点,提出了将元件位移法和元件分区加热法相结合,共同补偿热像差的方案。元件位移法通过改变元件的间隔、偏心或倾斜量来调节像质;元件分区加热法利用光学材料折射率随温度变化的特点,通过控制元件的温度分布产生可控波前。采用上述补偿方案对偶极照明模式下的热像差进行补偿,波像差从129.78 nm减小至1.69 nm,畸变从12.24 nm减小至1.31 nm,将物镜像质补偿至接近设计水平。

摘要：塑料光子晶体光纤(PlasticPhotonicCrystalFibers,PPCF)是一种新型的塑料光纤,其主要特征是在包层中有形状、大小、排列不同的微结构孔。拉丝塔是制作塑料光子晶体光纤的重要装置,而加热系统则是拉丝塔的关键组成部分。制作塑料微结构光纤要求加热系统的温度场呈特殊分布,这样能避免孔塌陷。本文中我们设计了一种基于微控制器(MicroControllerU-nite,MCU)的加热系统。该系统采用分区加热,其温度曲线比较理想,满足了制作不同结构MPOF时的需要。

摘要：本文以ITO膜作为加热元件,设计制备了大尺寸液晶显示器的低温加热模块。采用5个非等分的分区加热结构,通过调控各区域ITO膜加载功率的占空比和引入反馈调节机制,控制加热区域的升温速率,优化液晶显示器的温度场分布。在270V电压下,先以12%的功率占空比快速升温,再以6%的功率占空比保持温度,能够使液晶显示器在300s内达到快速启动要求,在500s内达到一个相对稳定的温度(-5℃),同时各区域中心温差保持在2℃以内,较好地解决了大尺寸液晶显示器低温加热不均匀的问题。

摘要：对传统框型热板硫化机的整体机械结构进行重新设计与优化:加力缸由上模安装式改为地面安装式,并增加加力缸机械安全插销系统与电气联锁信号控制;下模模出控制系统由液压单缸驱动改为双排齿轮、齿条+液压马达方式驱动,同时对4个下模行走轮增加液压辅助升降系统;对内压(热水管)、外压(蒸汽管)自动接驳装置进行改造,同时增加接驳装置安全插销;将门型框板结构改为门型立柱螺栓式结构;外模加热气室由上、下分体式改为上、中、下不同的3个气室结构,同时每个气室分两路进气、两路出气。新结构热板立柱式硫化机有效消除了硫化过程中因加力缸突发漏油故障而造成废胎的隐患,同时提高了设备的维修效率,解决了维修安全问题;确保下模行走的稳定性和可靠性;提升入模、出模效率与安全性;有利于更换模具规格,满足轮胎定制化生产需求,有效减少设备资金投入;满足巨型工程机械子午线轮胎因各部位胶料厚度差异较大、硫化时间和温度不尽相同而需分区独立控制的工艺要求,具有良好的经济效益、安全效益和环保效应。