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双光栅尺在高速高精度位移测量中的应用: 收藏
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引用; 《机床与液压》2012年第17期40卷 107-111页; 作者：殷庆纵刘杰苏州工业职业技术学院电子工程系江苏苏州215104 苏州印像镭射有限公司江苏苏州215004; 由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在...; 由于光栅尺本身结构上的原因,采用单一光栅尺难以实现高速高精度的微纳米测量。设计一种基于双光栅尺的高速高精度位移测量仪,通过可编程逻辑器件FPGA对粗、精光栅尺信号进行切换与合成,实现了高速高分辨率的位移测量。实验结果表明:在光栅尺运动速度大于1.2 m/s时,采用此方法可达到10 nm分辨率。它在高速高精度和大量程的直线位移测量领域具有广泛的应用前景。; 来源：详细信息评论

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