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刚性固定MEMS矢量水听器的设计
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《微纳电子技术》2016年 第5期53卷 310-315页
作者:王续博 张国军 郭楠 郭静 张文栋中北大学电子测试技术重点实验室太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 
针对传统矢量水听器在实际应用中需要辅助弹性悬挂,不便于工程应用的问题,设计并制造了一种具有低加速度灵敏度可刚性固定的差分型MEMS矢量水听器。介绍了该水听器的工作原理,制作了试验样机。搭建实验平台对样机进行测试,结果表明:500...
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