摘要：为实现基于微透镜阵列的高功率半导体激光器堆栈光束整形,对带有快轴准直透镜的高功率半导体激光器堆栈慢轴光束准直技术进行研究。在慢轴光束准直理论分析基础上,着重研究了慢轴填充因子对其光束准直的影响,并对不同填充因子的半导体激光器慢轴光束准直方案进行了分析。针对实际使用的填充因子0.5的高功率半导体激光器堆栈采用以Bar条为单元进行整体准直设计,并采用基于空间扫描法的发散角测试装置对慢轴准直后剩余发散角进行测试,实现准直后剩余发散角半角2.12°,实验表明该准直方法的有效性。

摘要：为了实现基于微透镜阵列的高功率半导体激光器堆栈光束整形,对带有快轴准直透镜的高填充因子半导体激光器堆栈慢轴光束准直技术进行了研究。对于发光单元尺寸100 mm、周期200 mm的半导体激光器,分析了填充因子对慢轴光束准直的影响,发现采用微柱透镜与慢轴方向各个发光单元一一对应的方式难以取得较好的准直效果,且会导致其快轴方向没有足够的准直空间。为了去除填充因子的限制,将实际使用的填充因子为0.5的高功率半导体激光器堆栈以bar条为单元进行慢轴方向光束准直设计,利用Zemax光学设计软件进行了模拟仿真,并采用基于空间扫描法的发散角测试装置对慢轴准直后剩余发散角进行测试,实现准直后剩余发散角半角2.12°,实验表明这种准直方法非常有效。该方法简单易行,对于高填充因子半导体激光器慢轴光束准直有较好的借鉴意义。