摘要：剑桥大学开发一种新型绝缘体上硅（SOD互补金属氧化物半导体（CMOS）热剪切应力传感器。这种传感器可以用铝或钨热膜作为传感元件进行湍流检测。该传感器在液体或空气动力学检测方面具有广泛应用前景，例如飞机或水下设备的设计。该传感器的优点有超低功耗、无线操作、快速响应、高灵敏度、vspatial分辨率为130×130微米、低成本。

摘要：出现于20世纪80年代后期的微机械技术可以制作出微米尺度的传感器和执行器。这些微器件与信号调节和处理电路集成后,组成了可执行分布式实时控制的微电子机械系统(MEMS)。这种性能为流动控制研究开辟了一个崭新的研究领域。利用MEMS技术设计和制作了一种传感器和一种执行器。实验证明,采用体硅腐蚀的工艺制作微流体器件是可行的,同时可以避免牺牲层腐蚀和释放的复杂工艺。