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基于剪应力检测的石英微结构及其陀螺效应研究
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《物理学报》2010年 第10期59卷 6896-6901页
作者：谢立强 吴学忠 李圣怡 王浩旭 董培涛国防科学技术大学机电工程与自动化学院长沙410073 
为了简化石英陀螺结构侧壁上的电极图形,设计了一种基于剪应力检测Coriolis力的新型石英微结构.通过对剪应力检测方案的分析,微结构侧壁电极的极性单一,采用锥度为15°的锥形梁结构作为敏感梁的设计可以增大敏感梁的检测灵敏度.通...
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