• 全部搜索
  • 期刊论文
  • 图书
  • 学位论文
  • 学位论文
  • 标准
  • 纸本馆藏
  • 外文资源发现
  • 产品样本
  • 电子图书
  • 原文传递

限定检索结果

检索条件"主题词=功能转换模块"
共 1 条 记 录，以下是1-10 订阅
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到"检索档案"
视图：
排序：
以功能转换模块扩充老炼系统使用功能
收藏
分享
引用
《半导体技术》2009年 第10期34卷 991-993,1040页
作者：简维廷 张荣哲中芯国际集成电路制造(上海)有限公司上海201203 
介绍了如何藉由在老炼系统外部提供适当设计整合的模块,达成把单一功能的老炼系统扩充成为通用型功能的老炼系统的目的。由于产品不同,老炼试验的条件也不同。被称为"功能转换模块"的设计大大增加了老炼系统使用的弹性,也使...
来源：详细信息评论
全选 清除本页 清除全部 题录导出 标记到“检索档案”
共1页<< <1> >>
聚类工具 回到顶部