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液浮陀螺仪全温动态调参再平衡电路的研究
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《战术导弹控制技术》2003年 第2期11卷 32-37页
作者:李正喜江南航天集团3405厂设计研究所遵义市432100 
基于通用LVDT(线性可变差动变压器)信号节器件AD698,本文给出了一种可在全温工作范围(-40℃~+65℃)内自动节陀螺仪闭环回路动态特性数的陀螺仪再平衡电路,它与YST-02A型单自由度液浮积分速率陀螺形成闭环回路,用于某型号地空导弹...
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炉管设备高精度温控系统研究
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《中国集成电路》2023年 第7期32卷 78-82页
作者:杨勇 黄浩 周波中国电子科技集团公司第四十八研究所 
炉管设备是目前半导体扩散、氧化、退火等工艺的主要设备,其温度控制的精度、温度场的均匀性等是设备的关键性能指标。为了满足炉管设备对温度控制的要求,设计了多段独立控制的加热系统,并采用串级控温方式对炉体内温进行精准控制;通过...
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