摘要：设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求,也能对整个系统的功能进行仿真验证。该系统实现了对物理气相沉积(PVD)系统中,气路中阀门的闭合动作及气流变化等的实时仿真分析。

摘要：Y2002-63133-1235 0224617通过软件模拟对图形硬件性能预测=Performance pre-diction on graphics hardware using software simulation [会,英]/Wong,D.W.-h.& Aleksic,M.//2001IEEE Canadian Conference on Electrical and ComputerEngineering,Vol.2.—1235～1240(E)0224618如何实现暨南大学 IC 卡食堂售卖系统[刊]/黄健平//电脑开发与应用.—2002,15(7).—40,42(L)