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芯片级多集成微陀螺方案对比与发展趋势分析
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《中国惯性技术学报》2023年 第9期31卷 932-939,954页
作者:魏雯强 鲁征浩 陈方 申冲 石云波 曹慧亮中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051 苏州大学微纳传感技术研究中心苏州215006 中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050 
微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了类芯片级多集成微机械陀螺集成方法:陀螺正交集成法、单结构三轴陀螺法及片多结构陀...
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