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超高精度定位系统及线性补偿研究
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《西安交通大学学报》2003年 第3期37卷 277-281页
作者：刘红忠 卢秉恒 丁玉成 李寒松 严乐西安交通大学机械工程学院西安710049 
依据一个带有宏定位和微定位的超高精度定位系统设计 ,应用弹性力学理论进行精定位台的静、动参数的分析和估算 ,确定了系统的自然频率 ,并由此设计出双伺服环的控制系统 .控制系统由 2根循环滚珠丝杠构成宏定位 ,3个压电驱动器构成微定...
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