摘要：开发了一种超小型、高精密、高稳定的谐振式石英温度传感器和石英温度测量装置,其温度测量范围为-60℃～200℃,准确度为0.05℃(包括非线性、复现性、滞后和负载温度的影响误差)。文中介绍了谐振式石英温度传感器晶体切型的设计方案、结构的设计,传感器和温度测量装置特性的标定。该传感器采用了厚度切变振动C模式、Y3.78°切型的矩形双凸石英片和具有正弦波纹边缘的蝙蝠状金属电极。

摘要：提出了一种采用石英力敏谐振器(QFSR)—石英热敏谐振器(QTSR)的单片式压电谐振型石英压力—温度传感器(QPTS),设计了单片式QPTS结构、石英压力传感器的无应力封接方案以及新型压力—伸缩力变换器。单片式QPTS由QFSR和QTSR构成,均采用AT切型,厚度切变模式工作,不同的是QTSR的长边取向与石英X轴的夹角为60°。无应力封接方案使用石英、单晶硅、非晶态SiC、硼硅酸盐玻璃和柯伐合金的组合,并且利用石英化学刻蚀和物理修饰技术以及半导体的新工艺使QFSR和QTSR改性。其中,非晶态SiC层的制作是为了实现应力的缓冲:虽然硅和石英材料的热膨胀系数不匹配,可是二者之间的非晶态SiC层却能够良好地吸收其热应力,成为无应力结构。

摘要：快速凝血检测技术在医学诊断领域具有重要应用价值,为了降低样本加入过程的扰动,文章开发了一种双幅激励的压电石英体新型凝血监测系统。该系统采用两种振幅正弦波分别对压电石英体进行激励,通过快速扫频技术测得其在不同激励电压下的谐振频率,所获得的频率差作为测量信号与液体粘度存在良好的线性关系。在血液凝固过程中,介质粘度会发生显著变化,压电石英体双幅频移信号可实现对血液凝固过程的实时动态监测。采用直径8 mm(电极直径3 mm)、基频10 MHz小型镀钛石英晶体设计出一次性微流控PQC检测片,成功用于微滴(15μL)毛细自动进样凝血过程的监测。对比传统单振幅激励PQC血凝监测系统,压电石英体双幅频移监测系统具有灵敏度高、重现性好的优势。使用该系统与商用电化学凝血仪分别对血样凝血时间进行了检测,结果显示两者数据具有很好的相关性。

摘要：研制成功一种高精密、高稳定的石英温度仪 ,其温度测量范围为 -60℃～ 180℃ ,测温误差≤ 0 0 5℃ ;电源电压的变化以及仪表工作环境温度的变化对测温准确度影响极小。文中介绍了研制的谐振式石英晶体温度传感器的设计方法、制作工艺和实测特性以及MAX2 62 0集成电路的技术指标和在该仪表中的应用电路。

摘要：基于压电材料的特点,总结分析了换能型、谐振型、声表面波型和超声波型四类压电传感器的工作原理、技术特点和设计要点,说明了目前这些压电传感器在国内外的应用情况,指明了压电传感器的四大发展趋势。