摘要：一维导电材料例如纳米线,大量应用于柔性压力传感器中.但是一维材料和基底之间接触时相互作用力较弱,使得传感器灵敏度、响应时间、和循环寿命等性能指标有待进一步提高.针对这些问题,设计了石墨烯/石墨烯卷轴多分子层复合薄膜作为传感器导电层.石墨烯卷轴具有一维结构,而石墨烯的二维结构可以牢固地固定卷轴,以确保高导电性复合薄膜与基底之间的粘附性,同时整体结构的导电通道得到了增加.由于一维和二维结构的协同效应,实现了应变灵敏度系数3.5 kPa^-1、响应时间小于50 ms、能够稳定工作1000次以上的压阻传感器.

摘要：温度补偿是对微传感器的性能进行优化与稳定的必要技术方案。提出了一种适用于柔性压力传感器的温度漂移补偿方法及结构,选用高热膨胀系数的聚二甲基硅氧烷(PDMS)与硅橡胶(EcoFlex)作为柔性衬底,结合基底表面微结构设计进行温度补偿。由测试结果分析,未补偿前传感器的TCR系数为-0.57%/K,在EcoFlex、PDMS、表面具有微结构的EcoFlex、以及表面具有微结构的PDMS四种基底上TCR系数分别为-0.42%/K,-0.37%/K,-0.24%/K,-0.22%/K,可知温度漂移得到有效补偿。本研究方法为柔性压阻式传感器的温漂性能优化提供了有益的借鉴作用。

摘要：本文提出了一种由金属膜片、硅油、压阻敏感元件复合而成的高压传感器新结构,这种结构利用金属膜片的刚度与硅油可压缩性的合理匹配,实现了用普通低量程压阻敏感元件制造高量程压力传感器,二者的量程比可达到10~2～10~3。介绍了该传感器的工作原理、数学模型和设计方法。介绍了一个用2MPa的压阻元件制成300MPa压力传感器原理样机的实例,证明了这种传感器的可行性。最后,对需要继续研究的问题和开发的方向提出了建议。

摘要：为了提高单目视觉相机的测量精度及测试数据的可重复性,提出了一种应用于激光扫描投影中扫描镜的闭环控制方式来提高投影出的条纹位置的稳定性。利用集成在扫描镜上的压阻传感器提供的反馈信号进行闭环控制,同时针对压阻传感器的温度特性,设计了测试系统来标定压阻输出与温度关系曲线。通过记录每一个温度下压阻的反馈输出值,生成反馈输出与温度的关系表。在室温至70℃的温度区间内,扫描镜的扫描角度的变化量由3.52°减小到0.05°。通过对扫描镜的扫描角度补偿控制后,单目视觉相机的三维测试精度以及测试数据的可重复性都得到了大幅提升。

摘要：压阻型传感器存在温度漂移误差和输出信号非线性等问题，当使用压阻传感器构建精密传感系统时，压阻型传感器的非线性特性影响系统的测量精度。通常情况下，为解决传统传感器的精度，往往采取板级补偿的方法，补偿算法开发复杂，造成传感系统体积大、功耗较大。文中通过研究电阻型传感器的非线性产生原理和补偿方法，设计并实现了一种工作范围达到-65-125℃的高精度传感器信号调理的单芯片，在此基础上实现了信号调理的校准软件的补偿算法及校准使用软件。基于上述研究，构建了以信号调理芯片为核心的单片传感器信号调理补偿系统，并对单芯片补偿后的传感器系统进行了实际测试。测试结果表明在-55-125℃的温度范围内输出的信号与压力呈良好的线性关系，误差小于6‰，满足系统的测量精度需求；高集成度的单芯片设计也满足工程小型化、低功耗、高精度的要求，为信号调理补偿提供了新的技术手段。

摘要：针对目前纤毛式MEMS矢量水听器灵敏度和带宽的相互制约,无法实现在高灵敏度的情况下还能有较大的可测带宽。基于此,设计了一种单梁结构的一维MEMS矢量水听器,经理论分析和ANSYS仿真分析,确定了微结构的尺寸,仿真结果显示有挖空式结构较无挖空式结构在X轴最大应力上提高了5.12%,探测带宽增大了53.26%。并对挖空式微结构进行了工艺设计,简化了工艺流程,提高了成品率。最后,用矢量水听器校准装置进行测量,实验结果表明,该一维MEMS矢量水听器具有20~2 000 Hz的可测带宽,满足灵敏度每频程6 dB的增长趋势,具有良好的"8"字型指向性,凹点深度为-32.4 dB。

摘要：主要阐述了结合实际应用的基于西门子PLC和昆仑通泰触摸屏控制的自动硅油充灌装置。详细介绍了装置的设计原理、系统的上位机及下位机的功能。该装置主要用于压阻传感器芯体及其他传感器的硅油充灌需求。压阻传感器是工业自动化控制领域中的一种重要的测量器件,为了保护传感器的敏感元件,被测介质与敏感元件是不接触的,传感器芯体充灌硅油既起到保护敏感元件的作用,又起到隔离和传递压力的作用。