摘要：提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器 ,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测。介绍了传感器的结构 ,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题。由于E型结构的对称性 ,使得所设计的三维加速度传感器在低量程、高灵敏度应用场合中具有良好的特性。

摘要：基于厚膜传感技术研制出双电容陶瓷压力传感器,设计了一种具有高检测灵敏度的信号处理电路,详细阐述了双电容传感器感压元件的工作原理、结构设计、工艺制备方法及性能测试。实验结果表明:研制的传感器线性误差小于0.37%,迟滞误差小于0.3%,电容温度系数低于97×10-6/℃.

摘要：介绍了基于LTCC(低温共烧陶瓷)共烧技术和厚膜技术工艺特点进行集成式L和C元件建模、LTCC集成式LC滤波器的设计技术。根据LTCC集成元件体积小寄生参数较大的特点,将常规LC滤波器的电路拓扑进行诺顿变换,并利用LTCC片式LC滤波器进行整体建模优化仿真出合格参数曲线。利用LTCC工艺,最终制造出体积为4 mm×6.5 mm×1.6 mm的片式带通滤波器。该滤波器具有带宽宽,阻带抑制度高且宽的特点,非常适合目前使用传统LC滤波器的应用场合,减小了安装面积,增加了整体电路可靠性,同时由于采用LTCC技术,非常适合批量生产。

摘要：设计一种便携式聚合物电解质膜燃料电池(PEM,也称质子交换膜电池)制氢微反应器,该微反应器是基于液体燃料(如醇类)水蒸汽重整制氢,该复杂微反应器的三维陶瓷结构包括蒸发器、混合器、重整器和燃烧器。低温共烧陶瓷(LTCC)技术用于制作具有埋腔体和微通道的陶瓷结构,厚膜技术被用来制造电加热器、温度传感器和压力传感器,最终的三维陶瓷结构由48层LTCC生瓷带构成。该陶瓷结构的尺寸是76×42×10毫米,重量约75克。

摘要：为了可靠驱动随钻地层测压仪器中的电磁阀,应用厚膜技术设计了一种高温电磁阀驱动电路。该电路将微控制器、驱动电路等集成于陶瓷基板上,具有高度集成、高可靠性、抗震性能优异等特点,可稳定工作于175℃环境。在随钻测压仪器的多次实井作业中,该电路性能表现良好。