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检索条件"主题词=原子束刻蚀"
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微电子机械加工研究
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《微电子技术》2001年 第2期29卷 3-7页
作者：蒋世祥 朱世强 黄文胜浙江省水利水电专科学院浙江杭州310016 浙江大学机械电子控制工程研究所浙江杭州310027 浙江国际商会实业有限责任公司浙江杭州310006 
本文介绍了微电子机械制造工艺的基本要求 ,尺寸极限。并且设计了一个 3D集成式微结构制造系统。该系统是在旋转工作台面上 ,用快速中子原子束刻蚀来实现 3D成形。
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