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双光干涉测量的控制系统设计
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《应用光学》2023年 第4期44卷 842-851页
作者:贾旭 韩森 吴泉英苏州科技大学物理科学与技术学院江苏苏州215009 上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海200093 苏州慧利仪器有限责任公司江苏苏州215123 
传统的大口径光学元件干涉测量方法依赖于根据不同测试样品人为改变扩束镜头和光路结构,该方法会不可避免引入一些系统误差,因此针对双光干涉仪的功能需要和仿真实验,提出了一套对应的双线控制方案。通过蓝牙通信、串口通信和机械结...
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