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检索条件"主题词=双支梁"
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一种利用台阶仪测量弹性模量及残余应力的方法
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《中国机械工程》2005年 第Z1期16卷 424-427页
作者：胡维 张大成 贺学锋北京大学北京100871 北京大学北京100871 北京大学北京100871 
在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量.提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算...
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