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双重键合结构石墨烯压力传感器的设计与仿真: 收藏
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引用; 《舰船电子工程》2022年第12期42卷 94-97页; 作者：陈绪文王俊强中北大学仪器与电子学院太原030051 中北大学前沿交叉学科研究院太原030051; 石墨烯具有优秀的力学性能与电学性能,可以应用到MEMS压力传感器。目前大部分石墨烯压力传感器都是悬浮式,由石墨烯直接承受压力,也就导致了石墨烯缺乏相应的防护,容易造成氧化及污染。基于此设计了一种硅膜承压、双重键合结构的石墨烯...; 石墨烯具有优秀的力学性能与电学性能,可以应用到MEMS压力传感器。目前大部分石墨烯压力传感器都是悬浮式,由石墨烯直接承受压力,也就导致了石墨烯缺乏相应的防护,容易造成氧化及污染。基于此设计了一种硅膜承压、双重键合结构的石墨烯压力传感器,以形成气密环境保护石墨烯。对压力传感器进行了简化仿真分析,仿真结果表明,方形膜片易于加工且灵敏度较高,最终确定在0~100MPa量程范围下膜片的最优尺寸为边长1000μm、厚度170μm,石墨烯达到的应变极限为1.85‰,这表明硅膜承压结构可以应用于提高石墨烯压力传感器的量程,为其设计与制造奠定了基础。; 来源：详细信息评论

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