摘要：波片精度对偏振光学系统性能有着重要的影响,故需要对其相位延迟量和快轴方位角进行高精度测量。提出了一种新型基于双频激光干涉相位检测的高精度波片测量方法,采用双频激光外差干涉光路,利用一个可旋转半波片和一个角锥反射棱镜测量待测波片,可实现任意波片的相位延迟量和快轴方位角的高精度同时测量。所提方法不受波片、偏振片等双折射器件的方位角精度的影响,从原理上避免了该类系统误差。所设计的系统具有共光路结构,测量稳定性高,信号处理采用相位检测方式相对于一般的光强检测方式测量精度更高。此外,所设计的测量系统中元件很少,结构简单,测量过程快捷。误差分析表明,在现有实验条件下,测量系统的波片相位延迟量的测量不确定度约为3.9′,快轴方位角的测量不确定度约为5′′。实验比对结果表明,所提方法的测量结果与其他方法测量结果的一致性很好。重复性测量实验表明,测量结果的标准偏差约为2′。

摘要：为获取光学平台多自由度微振动信息,设计了一种基于平面镜双频激光干涉的三自由度动态微振动测量系统。该系统利用激光多普勒效应,采用三个测量轴获得测量反射镜的三点位移信息,计算出测量镜平动、扭转角、俯仰角信息,实时检测三自由度的微振动情况,从而为光学系统的微振动补偿控制提供基础。对微振动测量系统进行了不确定度分析,建立了不确定度模型,为进一步提高系统精度提供理论依据,也为系统在校准和计量领域的应用奠定基础。实验过程中,采用高精度地震计对待测平台进行同步测量,与系统平动测量结果进行对比,验证了系统的测量准确性。该系统的平动分辨率可达到5nm,扭转角分辨率为5.05μrad,俯仰角分辨率为4.69μrad,具有多自由度、非接触、高分辨、可溯源的优点。

摘要：在双频激光干涉中拍频信号的高精度测量是双频激光干涉测量中的重要技术,广泛应用于精密机械、微电子加工等制造业的高速超精密测量场合。通过使用差分电路设计,提高了电路的抗干扰能力,有效地抑制了温度飘移,显著提高了信号的检测精度。

摘要：为了能够精确检测到测试转台在低速运行下的角速率,设计了一种基于双频激光干涉仪的角速率精度检测系统。首先,对本检测系统各项误差进行机理分析。然后,综合各项误差项建立总体相对误差模型。最终,通过仿真分析得到各个误差因子对相对误差项的影响,为保证检测系统相对精度提供理论依据,能够满足对高精度惯性器件测试转台低速段0.0001(°)/s^1(°)/s速率检测要求。

摘要：在新的水准标尺检测规程中要求采用激光波长作为计量基准，故双频激光干涉仪已用于水准标尺检测，而检测中的阿贝误差是整个检测系统的主要误差来源之一。本文提出采用光路补偿的方法有效地克服阿贝误差的影响。实验表明该方法不仅能保证检测系统的精度，而且大大简化了机械结构设计。该补偿理论也使用于其它位移测量系统。

摘要：为完成快速、精确的外观轮廓度量,设计了一种新型纳米级精度分光路双频干涉度量系统。系统由低频差双频激光干涉度量模块和微探头及二维工作台两部分组成。微探针以轻敲式接近样品至几十纳米时,受原子力作用发生偏转,利用双频干涉模块度量其纵向偏转量,并对样品进行梳状式度量得到外观形貌。根据双频激光的实际光源,对原有双频干涉度量理论进行了改进提高。进行了系统组建和实验验证。结果表明:系统具有纳米级精度,可用于超精样品外观轮廓度量。

摘要：构架整体激光检测系统株洲电力机车厂胡和平，周益平随着铁路运输向高速、重载模式发展，对机车的各种性能也提出了越来越高的要求。构架作为机车的主要承载部件，除承受牵引力、制动力外，还要承受着车体的重量、侧向力和转弯时的离心力。所以从构架的设计到制造，都有严...

摘要：介绍了以双频激光干涉仪为测量设备的液位标准装置的测量原理,对影响装置的主要因素进行了分析,采用不确定度A、B两类判定方法,通过实际应用的计算公式,最终对测量结果进行了不确定度分析,得出液位标准装置的标准不确定度u c为0.022 36 mm,展伸不确定度U为0.067 08 mm。