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检索条件"主题词=反应离子刻蚀法"
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二氧化硅埋层式光波导结构参数及工艺的设计
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《承德石油高等专科学校学报》1999年 第2期1卷 11-14页
作者：黄伟志 刘皓宇承德石油高等专科学校河北承德067000 
本文运用光波导理论中的有效折射率法，对二氧化硅埋层式光波导的结构参数进行了计算和设计．根据常规工艺中出现的一些问题，在工艺设计中选择了反应离子刻蚀法和PECVD工艺，并运用计算机模拟技术，对波导的传播性能进行了分析。
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