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大型光学表面纳米精度制造
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《国防科技大学学报》2015年 第6期37卷 1-7页
作者：彭小强 戴一帆 李圣怡国防科技大学机电工程与自动化学院湖南长沙410073 超精密加工技术湖南省重点实验室湖南长沙410073 
纳米精度光学表面在光刻技术、同步辐射、空间观测和惯约聚变等领域有重大需求。随着装备性能需求的不断提升,这些光学系统对光学零件面形精度和表面质量的要求几乎接近于物理极限,对光学制造技术提出了更高挑战,使光学制造成为纳米制...
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