摘要：以同步扫描的运动性能为目标,研究针对步进扫描投影光刻机工作台的超精密运动与同步控制策略。结合工作台的结构特点,提出一种粗、微复合运动控制方法,即:微动台纳米级微动,粗动台微米级跟随运动;以硅片台、掩模台的三阶轨迹规划与轨迹重叠为基础,进行扫描过程中的同步状态规划;为实现纳米级的同步运动精度,进行硅片台与掩模台的动态特性比较,在此基础上提出工作台交叉反馈的同步控制策略,使掩模台实时跟踪硅片台的运动趋势,并设计同步误差模型进行运动性能评估。该方法已在100 nm步进扫描投影光刻机中得到实际应用,并取得良好效果。

摘要：为了更加有效与便捷地识别SDH(Synchronous digital hierarchy,同步数字体系)中帧的起始位置,保证帧同步的正确性,提出了一种SDH传输系统中帧定位电路的设计方法。通过反复调用模块与指示帧告警信号相结合的方法,防止帧定位产生伪同步与真失步现象。并采用Veri l og语言对设计进行了RTL级的描述、仿真和综合,最终以ASIC方式得到实现。该设计方法与传统设计方法相比,更加方便简洁地实现了较复杂的帧定位过程。实验证明该设计能够完成帧定位的过程。

摘要：1 SSM功能的基本概念在SDH网络的工程设计中,离不开传输网同步系统的设计。在没有外时钟源、SDH不具备SSM功能时,网络只能设置一条定时路径,不能设置备份定时路径以避免定时环路的形成。由于同步网络通常采用环形组网或以环网为基础的复合型组网,出于网络定时安全的考虑,设置主备定时路径是非常必要的。

摘要：在施工管理全过程中,应当依据档案管理＂三纳入＂和＂四同步＂原则,注重前端控制,使各项计划进度和施工文件文档始终处于动态的同步状态中。尤其是对大量原始设计变更、施工技术、质量检验、验收评定等资料要进行细致的处理,落实跟踪处理制度,对存在的问题及时进行通报,多方协调处理,