摘要：设计了 5 0 0× 5 0 0个微加热器阵列 ,加热线条宽度分别为 5 μm ,7μm ,9μm。采用离子束溅射、光刻、湿法腐蚀等工艺 ,在Si衬底上制作了微加热器 ,加热层材料为Ni/Cr ,Au ,厚度分别为4 0 0nm ,2 0 0nm。采用直流电源对加热器进行供电 ,在红外热像仪下观察 ,随着电压、电流的增加 ,加热区温度上升很明显。测试结果表明 ,该加热器可以用于 (MEMS)

摘要：设计并制备了一种高抗振双质量块硅微陀螺仪。阐述了双质量块陀螺仪的工作原理,分析了陀螺仪抗振性能较差的原因。在此基础上,采用差分梳齿电容检测结构和双质量块耦合结构对陀螺仪敏感结构进行了优化,通过抑制线振动共模干扰信号、提高工作模态频率、隔离干扰模态频率,提高了陀螺仪的抗振性能。利用绝缘体上硅(SOI)体硅加工工艺和圆片级气密封装技术实现了陀螺仪芯片的加工,采用无引脚芯片载体(LCC)封装实现了陀螺仪的立体集成封装。封装后陀螺仪整体尺寸为9.0 mm×9.0 mm×2.8 mm,功耗为125 mW,质量为0.9 g。测试了陀螺仪的典型性能参数,陀螺仪量程达到±500°/s,角度随机游走为0.036°√h,随机振动实验中零偏稳定性和零偏差分别为2°/h和2.7°/h,能够满足大部分工程应用需求。