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检索条件"主题词=均化效应"

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静压导轨误差均化效应影响因素研究: 收藏
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引用; 《西安交通大学学报》2010年第11期44卷 33-36页; 作者：薛飞赵万华西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049; 针对一种实际的四油腔闭式静压导轨设计方案,将导轨轮廓误差分解成具有不同波长的轮廓误差分量,应用油膜厚度均化分析方法,计算了不同轮廓误差分量对应的运动误差及静态均化系数.分析表明,轮廓误差分量的波长、油垫长度及运动直线度评...; 针对一种实际的四油腔闭式静压导轨设计方案,将导轨轮廓误差分解成具有不同波长的轮廓误差分量,应用油膜厚度均化分析方法,计算了不同轮廓误差分量对应的运动误差及静态均化系数.分析表明,轮廓误差分量的波长、油垫长度及运动直线度评定长度对静压导轨静态均化效应具有显著影响.因此,在设计时应优化油垫长度与运动直线度评定长度的比值,使静压导轨均化效应对于较宽波长范围的轮廓误差分量得以增强,从而减小运动误差与轮廓误差的比值,在提高导轨运动精度的同时降低其加工难度.; 来源：详细信息评论

划片机工作台直线度的设计与实现: 收藏
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引用; 《电子工业专用设备》2007年第12期36卷 35-39页; 作者：王明权李战伟中国电子科技集团公司第四十五研究所北京东燕郊101601; 依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度。依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法。; 依据IC晶圆的切割道和先进封装的工艺数据,分析划片机的误差,分配各功能部件的精度。依据桥形结构划片机的结构,建立工作台的力学模型,确定直线导轨的类型,研究直线导轨副工作台直线度的实现方法。; 来源：详细信息评论

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