摘要：根据垂直扫描白光干涉仪的结构参数,设计了其系统中微位移定位机构的柔性铰链,并应用Ansys对其性能进行有限元分析。分析结果显示,该柔性铰链的性能能够满足垂直扫描白光干涉仪的工作要求。

摘要：研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪。基于Linnik显微干涉结构,设计了干涉测量仪的显微干涉系统,介绍了干涉系统的工作原理;设计了Z向一维位移工作台,介绍了其结构和驱动原理;分析了测量仪的工作原理,并采用标准样板对测量仪的测量精度进行了验证。

摘要：采用垂直扫描系统是离子注入机最常用的扫描方式之一,着重阐述了一种大行程垂直扫描系统的系统构成、设计思路和实现方法。经过实际使用证明,该系统提高了离子注入机机械扫描的可靠性和稳定性。

摘要：利用白光干涉垂直扫描原理,设计了测量微机电系统(MEMS)表面形貌特征的垂直扫描白光干涉系统.该系统由垂直扫描位移工作台驱动被测件,通过检测被测件表面的干涉条纹变化得到表面形貌.垂直扫描位移工作台利用压电陶瓷驱动柔性铰链结构进行纳米驱动,光栅传感器监控整个垂直扫描过程,对压电陶瓷的非线性误差进行实时补偿.垂直扫描位移工作台的性能分析表明:分辨率达到1 nm,定位精度小于10 nm.同时采用图像分析技术对光学仪器测量台阶出现的噪声进行了消噪处理,试验结果表明垂直扫描白光干涉系统能够实现MEMS三维表面形貌的高精度测量.

摘要：针对微扫描镜镜面尺寸过小、分辨率过低等问题,设计了一种镜面尺寸为4 mm的大尺寸电磁驱动式MEMS微扫描镜。使用COMSOL对设计的结构进行仿真模拟,分析MEMS微扫描镜在不同频率下的振动模态和扭转梁应力,并通过频响曲线分析其运动过程。结果表明,所设计的MEMS微扫描镜能够满足VGA显示模式的要求,水平扫描和垂直扫描的最大光学扫描角度分别为24.36°和59.30°。对比结果还表明,随着镜面尺寸的增加,水平扫描频率逐渐减小,屏幕分辨率逐渐降低,显示模式逐渐变差。

摘要：为满足超精密表面形貌测量对工作台的大量程、超精密和三维扫描的要求,设计了一种新型三维精密工作台。工作台由自带计量系统的二维工作台和垂直扫描工作台组成。测量时闭环系统控制二维工作台的位移;同时,Z方向位移执行单元驱动垂直扫描工作台,实现了垂直方向上的精确定位。将研制的工作台与现有的位移传感器组合成表面形貌测量系统,对标准样板的粗糙度进行测量,其测量示值误差均在5%以内。结果表明,所设计的三维精密工作台能够满足使用要求。

摘要：由应用物理实验室设计的电视数据系统,在Harpoon反舰艇计划提供一个数据收集和处理系统。该系统安装在用以模拟导弹飞行轨迹的飞行试验台上。获得的数据送回实验室进行分析,以提供有关命中率、脱靶量、跟踪噪音和寻的装置性能等资料。本报告描述了该系统的电子电路的设计和性能。

摘要：Sony公司就为其新推出的CPD-E230配备了最新的平面显示技术,它采用FD Trinitron显像管,点距仅为0.24毫米,这种设计可让更多光源发射到显示屏,令影像彩色更亮、更纯、更清晰。其数码多重扫描技术可支持水平和垂直扫描,水平扫描范围为30-85KHz,垂直扫描范围为48-170KHz,而在75Hz更新率下,个人计算机及苹果计算机(Macintosh)可支持的解像度最高可达1280×1024。此多重扫描技术的应用,为那些追求计算机时尚化使用效果的家庭用户提供了方便,且能根据自己的喜好、要求,自由扫描图片。索尼推出的CPD-E230在外形设计上体现了个性化、时尚化的特点——乳白色的机身、超酷的外形设计充分体现出时尚品味及对现代感的个性诉求。

摘要：由于对精度控制大多只关注船体分段的主尺度精度,而忽视了船体分段的外表面精度。基于此,研究提出了一种采用全站仪对边测量法,以基准点为导向进行垂直扫描船体外表面的简易方法,并采用软件生成三维模型与设计模型对比,据此检验建造的船体分段外形的精度。

摘要：介绍了一种新型的基于垂直扫描的精密三维工作台,由一个自带计量系统的二维工作台和一个垂直扫描工作台组成。当测量工件时,闭环控制系统控制二维工作台的位移,同时Z方向伺服电机和压电陶瓷驱动器驱动垂直扫描工作台去实现垂直方向上的精确定位。衍射光栅位移传感器用于探测垂直扫描工作台的垂直位移量。