摘要：分析了新结构Y型双声路声表面波(SAW)质量传感器的频域特性.应用P矩阵理论计算结合实验验证,比较了3种不同结构器件的性能.结果表明,换能器孔径加权设计相比均匀孔径设计,有利于减小三、五次回波,旁瓣抑制增加了15 dB,在振荡模式下等效Q值由4 800提高到8 689,短期频率稳定度提高了-1.81 dBc/Hz;倾斜反射栅设计使边缘反射虚假信号减小了约2 dB,在振荡模式下等效Q值由8 689提高到12 477,短期频率稳定度提高了-1.20 dBc/Hz.采用倾斜反射栅与孔径加权设计结构,有利于提高质量传感器在振荡模式下的等效Q值,并提高短期频率稳定度.

摘要：报道了在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为122MHz的S型双声路质量传感器,它能有效地克服环境温度的影响。阐述了该传感器的器件结构及设计,并采用延迟线振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明,该器件相对温度系数良好,仅约为10Hz/°C。器件的质量沉积效应灵敏度约为3.8GHz·cm2/g。

摘要：针对无源无线声表面波传感器无线信号的有效传输,提出了一种无线无源声表面波传感器的天线阻抗匹配方法。该方法根据声表面波传感器的阻抗特性,可直接进行天线设计,并使天线的输入阻抗与声表面波传感器的输出阻抗共轭匹配。实践中,利用声表面波传感器的梅森(Mason)等效电路模型,及由微带传输线和分布式电容构成的匹配网络,在传感器谐振点附近频率段内,对传感器和天线进行共轭匹配及性能优化。对比共轭匹配前、后的仿真结果可知,声表面波传感器得到了最大的功率传输。

摘要：报道了一种在128°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制新型的延迟线型声表面波质量传感器及测量系统。由于环境温度对声表面波质量传感器性能影响较大,因此采用新型的Y型双声路结构克服环境温度对传感器性能的影响。阐述了Y型双声路质量传感器器件的结构及设计、测试电路的原理,对实验结果作了分析讨论。测试结果表明:器件相对温度系数仅为11Hz/°C左右,器件的质量沉积效应灵敏度为3.62GHz·cm2/g,并且具有良好的线性度。

摘要：报道了在 12 8°Y切割X传播方向的LiNbO3基片上设计并研制的中心频率为 12 2MHz的Y型双声路质量传感器 ,它具有一个参考声路臂和一个测量声路臂 ,每声路中有一个采用光刻工艺精确定位的质量沉积区。本文阐述了质量沉积效应的原理、器件的设计方法。采用振荡的方式对器件的性能进行测试。测试结果表明 :该器件的两声路频谱对称性良好 ,并且有良好的相对温度系数 ,仅为 12Hz/℃左右。器件的质量沉积效应灵敏度约为 3 6GHz·cm2 /g 。

摘要：转轴的扭矩测量一直是一个难解决的问题。声表面波传感器可以实现无源化并进行无线测量，从而可以应用于转轴的扭矩测量。文章阐述了声表面波扭矩传感器的设计、结构及相应的无线测量系统。

摘要：轮胎压力监视系统是一种当轮胎气压与温度超出正常标准时,能及时提醒驾驶者的系统。研究的目的在于对该系统一款新型无源无线声表面波微传感器的设计进行理论分析和参数优化。为此,根据耦合模理论推出了P矩阵模型新的表示形式并验证了该表示形式在分析双向对称一致IDT和反射器方面的适用性和精确性。应用P矩阵方法分析IDT的输入导纳和该SAW器件的插损,结果显示该传感器设计具有优良的插损性能。

摘要：为降低声表面波气体传感器在传播声波时所产生的插入损耗,分析了常规高损耗型双向叉指换能器的结构形状,设计了一种低损耗型浮动电极单向换能器的结构,采用COMSOL有限元软件建立双向和单向叉指换能器的仿真模型,通过添加固体力学和静电物理场,对比分析两种结构输出端的插损。结果表明:双向叉指换能器两个输出端产生的插损十分接近,说明声波具有双向性传播,未能起到降低插损的作用;浮动电极单向换能器每个周期6个不同电极的的特殊设计,使其具有单向传播性,可以降低声表面波气体传感器4 dB的插入损耗,提高了传感器的敏感特性。

摘要：环境温度对声表面波传感器影响较大,常采用双声路结构补偿环境温度的影响,本文结合声表面波器件结构,设计了一种新的测量系统。它由交替工作的延迟线振荡器、混频电路和数字信号处理电路组成。延迟线振荡器输出信号经滤波后与109MHz的本机晶体振荡器输出信号相混频,通过低通滤波取其差频,并经整形后由数字信号处理电路处理。应用标准信号源验证了测量系统的准确性,频率跟踪特性误差在50Hz以内。测量系统显示直观,精度高,是双声路声表面波传感器理想的测量系统。

摘要：给出了一个新的关于声表面波反射延迟线理论分析方法,基于波动方程和Chen-Haus理论、利用变分方法研究了压电基底上金属短路栅阵中声表面波传输特性,得到其精确反射系数.之后,实验研制了一个用41°YXLiNbO3、单相单向换能器和三个短路反射栅构成的434MHz声表面波反射延迟线,测量值与理论分析基本一致,器件具有尖锐反射峰、高信噪比等特性.