摘要：在5G通信时代,声表面波(SAW)滤波器作为射频前端滤波器的一种重要解决方案,面临着频率提升和带宽拓展的双重困难,其性能优劣直接影响整个通信系统的质量.近年来,随着离子切片技术的成熟,压电单晶薄膜技术给SAW滤波器带来了新转机.与传统的42°Y切钽酸锂(LiTaO3)衬底相比,基于离子切片技术的同切型钽酸锂-二氧化硅-硅(42°Y-cut LiTaO3-on-insulator,42-LTOI)衬底能有效提升器件的性能.通过研究基于42-LTOI衬底的SAW谐振器的设计参数与其各性能指标(性能系数、机电耦合系数、寄生模式抑制)之间的关系,可以为进一步设计满足5G通信频段要求的SAW滤波器提供指导.通过理论分析、有限元仿真与实验测试相对比的方法,在谐振器优化设计方面得到以下结论:增加谐振器的电极对数或者电极孔径,能够有效提升器件的性能系数,其中增加电极对数的作用更为明显;在具有相同静态电容的谐振器中,电极孔径与电极对数的比值越小(即谐振器的形状在声波传播方向上越狭长),器件的性能系数越高;谐振器的机电耦合系数随电极周期增加呈现先增大后减小的趋势,在本实验使用的衬底参数下,当电极周期为1.8μm时,具有10.8%的理论最大值;谐振器的寄生模式响应会随电极对数的增加而逐渐增强,采用赝电极结构可以有效抑制寄生响应.

摘要：分析了在通用硬件平台上结合软件设计的声表面波谐振器无源无线传感虚拟仪器系统。该系统通过设计虚拟仪器实现部分硬件功能,控制闭环系统实现自动检测,并采用数字信号处理方法提高检测系统的精度,从而避免了通常的复杂硬件系统,降低硬件成本,并使检测更灵活。本文介绍了设计原理和系统构成,并对系统的误差进行了分析。实验表明:该仪器系统能够达到5m的无线检测距离。

摘要：为改善气体传感器性能，通过器件优化设计获得了一种应用于气体传感器的具有低损耗、高品质因子（Q）的单模式两端对声表面波（SAW）谐振器。该谐振器由两个换能器、分置于换能器两边的短路栅反射器以及在换能器之间分布的用于敏感膜镀膜的约2．5mm金属薄层构成。谐振器采用铝／金双层电极以降低测试气体环境的腐蚀影响。利用经典耦合模（COM）理论对器件性能进行了仿真以提取优化的结构设计参数。基于仿真结果，实验研制了基于300MHz频率的新型铝／金电极SAW两端对谐振器，测试结果显示所研制器件具有较低损耗（〈7dB），较高Q值（-3000）以及单一谐振模式的特点，并且，以所研制的新型谐振器为频率控制单元的谐振器型振荡器表现出良好的频率稳定度（t15Hz／h），这对于改善气体传感器的检测下限及稳定性等性能指标具有重要意义。

摘要：　本文叙述了GHz频带声表面波谐振器的设计、制造和试验结果.对两种不同模式的声表面波谐振器进行了研究,它们是瑞利波型谐振器和表面横波型谐振器.对两种波型谐振器的频率温度特性进行了比较.最后对表面横波(STW)谐振器在振荡器中的应用进行了研究.

摘要：移动通信网络的发展使得声表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)滤波需要更高的频率和更大的带宽。更高的频率使得传统瑞利波(Rayleigh SAW,RSAW)器件需要更小尺寸,带来制造技术的难题。因此,采用更高波速的纵漏表面波(Longitudinal Leaky SAW,LLSAW)进行高频SAW滤波器的设计。实验表明,相同条件下,LLSAW模式获得达RSAW模式1.8倍的频率,同时也有更高的带宽。还研究了改变质量负载的电极金属化率与厚度对器件工作频率和带宽的影响,结果表明电极金属化率和厚度的增加会降低中心频率,但金属化率过小也会使中心频率下降。同时带宽会受金属化率的影响,而几乎不随电极厚度变化。

摘要：该文研究基于磁致伸缩FeGa合金衬底的磁电声表面波(SAW)谐振器。首先,在FeGa磁致伸缩衬底上溅射沉积了ScAlN压电薄膜,完成了单端口声表面波谐振器的制备;其次,采用X线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)等手段对ScAlN薄膜进行结构分析;最后,采用矢量网络分析仪和微波探针台测试S参数和群时延。结果表明,ScAlN薄膜晶粒呈柱状生长且具有高度(002)取向,薄膜表面粗糙度在2.36nm左右;当ScAlN压电薄膜厚为0.7μm,波长为15.74μm时,SAW谐振器的谐振频率为218.75 MHz,相速度为3 443m/s,机电耦合系数为0.06%,与COMSOL仿真计算结果较吻合。

摘要：在声表面波无线传感的实际应用中,针对以差动形式同时出现的两个声表面波谐振器设计了一种采用双本振源激励的阅读器,每次产生包括两个载波频率的激励信号,使两个谐振器同时响应。实际搭建了无线测量系统,对阅读器的发射和接收链路进行了测试,并通过上位机实时显示谐振频率,测量结果表明了系统的可靠性。最后,实验分析了系统在不同载波频率激励信号下的差动频率测量结果和最远测量距离。

摘要：介绍了一种利用声表面波谐振器稳频发射,晶振稳频接收的无线数字通信模块的设计、制作及调试。该模块可以使用单片机串口完成多机无线通信,具有占用单片机接口线少、节约程序空间的优点。

摘要：本文介绍了声表面波谐振器的基本原理和主要技术特点 ,提出了声表面波谐振器在高频无线电遥控电路中的应用方法 ,解决了采用LC振荡方式的无线电遥控电路中存在的频率稳定度较差的问题。

摘要：介绍了低损耗高Q值声表面瑞利波和声表面横波谐振器的原理、结构、制作和关键的设计参数,以及实验结果。其中双端声表面瑞利波谐振器的有载Q值可达5000以上,无载Q值可达20000以上。