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纳米多层膜和复合超硬涂层的研究进展
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《吉林师范大学学报（自然科学版）》2004年 第2期25卷 1-7页
作者：郑伟涛 白晓明 安涛吉林大学材料科学系吉林长春130012 
本文综述了近年来纳米多层膜和复合超硬涂层研究的最新进展,详述了纳米多层膜和复合超硬涂层的致硬机理和设计方法,分析了Ti/TiN、氮化物/氮化物多层膜和Ti-Si-N及Ti-Al-Si-N系复合膜的最新研究现状,指出了今后纳米多层膜和复合超硬涂...
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