摘要：根据某款净饮机出水时的不良表现,对其水嘴结构进行了分析,确定了可能影响水嘴水流雾化和水流飘散的结构特征;针对原水嘴结构进行了结构优化,设计了多孔挡板的入射流缓冲结构,渐变收缩的出口前段结构和最速降线的出口导流结构,以改善水嘴的出水流场表现;基于VOF方法,对比分析了优化水嘴和原水嘴的内部气液分布和流场分布。两款水嘴的数值分析显示:优化水嘴的三个重点部位的流场流线和涡流均有显著改善,能有效改善出水喷雾和水流飘散问题;制作优化水嘴的耐高温手板,用于净饮机的取水测试,优化水嘴的出水流场表现得到显著改善。

摘要：为解决立式氧化炉气流场存在的技术难点,提高晶圆氧化膜的厚度均匀性;采用流体力学仿真方法,建立炉体工艺管气流场数学和仿真模型,并分析流速分布规律;针对环形流动造成的炉内流速分布不均的问题,通过在炉顶安装多孔薄板以优化炉体结构并进行仿真分析。仿真结果表明:增设孔板有利于改善炉内同一横截面和竖直方向的气流场均匀性。