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激光直写多层光刻样品定位准确度的研究
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《实验室研究与探索》2016年 第3期35卷 37-40页
作者：李华 郭党委 毕四军兰州大学磁学与磁性材料教育部重点实验室物理科学与技术学院甘肃兰州730000 
利用磁控溅射法制备了铁钴合金薄膜,并采用电感耦合等离子体发射光谱仪、多晶X射线衍射仪和场发射扫描电子显微镜对沉积薄膜的成分、晶体结构和微观形貌进行了测试和分析。针对DWL66FS型激光直写仪自带定位工具定位销使用时的缺点,设计...
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