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剪切式压电喷头多致动壁结构制备及特性分析: 收藏
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引用; 《压电与声光》2019年第1期41卷 135-140,145页; 作者：冯金磊李东孔全存李勇赵翔北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院现代测控技术教育部重点实验室北京100192 清华大学机械工程系精密/超精密制造装备及控制北京市重点实验室北京100084 北京科技大学机械工程学院北京100083; 剪切式压电喷头多致动壁结构是压电喷头的核心部件,针对国外在这一领域的长期垄断,通过对致动壁的特性分析,设计了剪切式压电喷头多致动壁结构,并探索出一种改进的制备工艺。通过极化、切割、二次极化、镀电极和焊线工艺,制备出长、宽...; 剪切式压电喷头多致动壁结构是压电喷头的核心部件,针对国外在这一领域的长期垄断,通过对致动壁的特性分析,设计了剪切式压电喷头多致动壁结构,并探索出一种改进的制备工艺。通过极化、切割、二次极化、镀电极和焊线工艺,制备出长、宽、高分别为9.5mm、70μm、400μm的致动壁和液体腔。在有限元分析软件COMSOL下构建致动壁结构仿真模型并进行测试实验。结果显示,壁间电压在0～60V内,致动壁振动位移与其施加电压大小呈近似线性关系,仿真与实验与结果平均偏差约为4nm,最大偏差6.4nm,两者吻合度达87%,符合喷墨要求,为剪切式喷头的研制提供了应用可行性。; 来源：详细信息评论

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