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镀有增透膜的多层衍射光学元件的优化设计方法
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《光学学报》2019年 第3期39卷 76-83页
作者：毛珊 赵建林西北工业大学理学院陕西省光信息技术重点实验室陕西西安710072 西北工业大学理学院超常条件材料物理与化学教育部重点实验室陕西西安710072 
基于等效介质理论和多层衍射元件的本体相位延迟,考虑增透膜相位调制的影响,对多层衍射光学元件的表面微结构参数进行优化;采用优化设计方法分析应用于可见光波段镀有增透膜的多层衍射光学元件。结果表明:优化设计方法在保证增透膜物理...
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