摘要：设计了基于压电型微驱动器的宏微双驱动精密定位系统,宏动台由伺服电动机直接驱动,微动台由压电陶瓷驱动器和弹性铰链构成,并由压电陶瓷驱动器驱动。微动台安装在宏动台上,微动台和宏动台是串联关系。宏动台用于实现大行程微米级定位,而纳米级定位由微动台实现。利用基于运动控制卡的开放伺服功能来协调宏微工作台之间的控制,而位置反馈由两个高精度光栅完成,精度检测由激光干涉仪完成。当宏动台运动结束后,微动台根据测得的定位误差做出补偿进给。实验表明,在行程100 mm的范围内每隔1 mm采集一点,误差控制在±100 nm以内。

摘要：以同轴集成式宏微驱动器为对象,以减小其宏动力波动值为目标,在建立其数学模型的基础上,采用COMSOL软件对其结构参数进行优化。通过仿真不同宏动位置时宏动力输出情况,得到5个不同参数对该驱动器宏动力稳定性的影响程度。利用正交试验方法设计出最佳的优化方案,并进行试验验证。结果表明:5个因素对宏微驱动器稳定性影响的强弱程度依次为永磁体厚度d_(y)、宏动线圈厚度d_(x)、气隙大小q、宏动线圈长度L_(x)、永磁体长度L_(y);当d_(y)=4.5 mm、L_(y)=138 mm、q=5 mm、d_(x)=5 mm、L_(x)=107 mm时,宏微驱动器的输出性能最佳。

摘要：为系统分析宏微驱动技术研究现状,分别完成了宏微驱动技术中4种常用的宏驱动系统驱动方式及2种常用的微驱动系统驱动器研究现状分析;在总结宏微驱动技术发展现状的基础上分析了该技术发展过程中存在回转运动研究滞后于直线运动研究、宏微驱动系统体积大且结构复杂、系统控制滞后于结构设计、研究成果转化严重滞后于技术研究等问题;为解决该技术发展过程中存在的问题提出了相应的解决方法。

摘要：设计开发了一台高精度、高性能，具有自主知识产权的微细孔电火花喷孔加工机床。该机床采用卧式布局旋转主轴，主轴转速可调。采用基于压电陶瓷与步进电机结合的宏微伺服进给系统，能实现电极的微步距振动式进给。配有制作微细工具电极的反拷系统，能够在线获得所需的各种尺寸的工具电极。该机床能稳定加工各种柴油机喷嘴的喷孔，尤其适合加工孔径为0．05～0．20mm的喷孔，加工精度达0．001—0．005mm，加工效率达到20～50s／孔。

摘要：针对超声电机与压电微驱动器对驱动电源的要求,设计出一种既能驱动超声电机又能驱动压电微驱动器的驱动电源,该驱动电源由可调变压器、半桥模块及以高性能数字信号处理(DSP)芯片TMS320F28335为核心的控制器组成。该电源驱动超声电机时,电源输出相位差、频率均较大范围连续可调的二相超声频率交流电;驱动压电驱动器时,电源输出较大范围连续可调的直流电。对行波型旋转超声电机及钹型压电驱动器的系列驱动试验表明该电源能同时满足超声电机和压电驱动器的驱动要求。

摘要：对高加速度宏微运动平台进行了研究,在分析宏微复合驱动技术的基础上,采用一种新型的宏微驱动方式,研制了基于压电陶瓷的高加速度宏微运动平台。宏运动由音圈电机驱动,可实现高加速度、大行程运动;微运动由安装在音圈电机轴上的压电陶瓷驱动,用以补偿宏动所产生的定位误差,达到高精度的设计目标。在微动过程中,由绝对式直线光栅尺实现闭环位置反馈。根据设计要求,搭建了宏微驱动高加速度高精度定位平台,通过实验验证其性能。实验结果表明,该宏微运动平台加速度大于10g,重复定位精度小于1μm。

摘要：设计开发了一台微细电解加工装置。该装置采用龙门固定式结构,具有高精密的压电陶瓷微动工作台,可通过CCD观察整个加工过程;在宏微结合的驱动控制下,可进行各种微细孔、微细轴以及复杂微细结构的高精度微细电解加工。

摘要：针对超磁致伸缩驱动器存在行程短的问题,将音圈电机与超磁致伸缩驱动器结合,研究一种大行程宏微驱动器的新结构,并采用ANSYS Maxwell进行仿真,得出在不同宏动位移情况下磁力线分布;计算了宏动力和波动力范围,得出宏动定位的最佳范围;推导出微动线圈内GMM棒轴线的平均磁场强度随宏动位移和宏动线圈厚度的变化规律。验证了大行程宏微驱动器的可行性。