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潘宁放电在密封电真空器件真空度测量中的应用
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《强激光与粒子束》2002年 第3期14卷 453-455页
作者：金大志 唐平瀛 刘铁 谈效华 戴晶怡中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 
密封电真空器件的可靠性尤其重要 ,而影响其可靠性的主要因素是真空度。对于具有两个电极的密封电真空器件由于无法利用其自身的电极结构直接测定其真空度 ,因此需要研究并建立一种合适的真空度测量方法。分析了利用潘宁放电来测量两个...
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