摘要：本文通过计算、分析在 Si光电器件表面由 Si O2 、Si3N4及 Al2 O3组成的不同减反膜的反射损耗 ,得出了最优化的膜层组合。厚度为 95 nm的 Si O2 层是最佳的单层减反膜 ;进一步的优化可采用 40 nmSi3N4和 40 nm Si O2 或 45 nm Al2 O3和 45 nm Si O2 组成的 2层结构 ;3层或 3层以上结构的反射损耗呈振荡性变化 。

摘要：针对折射率可调的无色透明TiO2涂层的最新研究进展,本文通过分析太阳能集热器真空管表面的由SiO2、折射率可调的TiO2组成的三层减反膜的反射损耗,得出了最优化的膜层组合。此SiO2-TiO2-TiO2三层减反膜结构在400～700nm的波段范围内,可见光的透过率可以达到99.5%以上。此结构减反膜以同种材质制备多层不同折射率薄膜,则各膜之间无膜间应力和工艺匹配的限制,为低成本地制备太阳能集热器真空管等的曲面多层减反膜提供了可能。

摘要：常见的小型等离子溅射仪是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器。针对其辉光放电,对实验人员产生隐性紫外线伤害的问题,本文介绍了基于TiO2-SiO2薄膜的紫外反射膜的设计过程。通过优化获得了380nm～400nm近紫外波段具有高反射的溅射仪防护罩紫外隔离膜的参数,得出了最优化的膜层组合,为低成本地制备性能稳定、高可见光透射、高紫外线隔离的新型溅射仪防护罩紫外隔离膜提供了参考。

摘要：;通过分析家用轿车前挡玻璃表面的由SiO2、折射率可调的TiO2组成的三层增透隔热膜的透射率和隔热率,得出了最优化的膜层组合。此基于多层无机材料的增透隔热膜直接制备于车窗玻璃表面,在400nm以上紫外线波段范围内,紫外线的吸收率为99.9%,在400nm-700nm的波段范围内,可见光的透过率可以达到99.5%以上,隔热率在80%。此结构增透隔热膜以同种材质制备多层不同折射率薄膜,则各膜之间无膜间应力和工艺匹配的限制,为低成本地制备家用轿车增隔热膜提供了可能。