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日期分布

 

学科分类号

  • 1篇理学

主题

  • 1篇均匀性
  • 1篇射频icp
  • 1篇离子源
  • 1篇设计
  • 1篇感应耦合等离...
  • 1篇射频匹配网络
  • 1篇中性化
  • 1篇离子流

机构

  • 1篇中国科学院等...

作者

  • 1篇沈克明
  • 1篇翁坚
  • 1篇许沭华
  • 1篇任兆杏

语言

  • 1篇中文
检索条件"主题词=射频匹配网络"
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射频ICP离子源设计研究
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《真空科学与技术》2002年 第4期22卷 310-312页
作者:许沭华 任兆杏 沈克明 翁坚中国科学院等离子体物理研究所安徽合肥230031 
本文介绍了射频 (RF)感应耦合等离子体 (ICP)离子源的设计研究。对RFICP的结构、离子流的引出以及离子流的均匀性、中性化和射频匹配网络进行了研究。
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