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大口径非球面精磨表面形状检测技术研究
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《光学技术》2001年 第6期27卷 509-511页
作者：唐健冠 伍凡 吴时彬中国科学院光电技术研究所四川成都610209 
介绍了一种大相对口径非球面精磨阶段面形的测量方法原理及实现其功能的软件设计。利用机械接触式装置 ,通过长导轨及其光栅探头的高度变化来直接测量非球面的矢高 ,并把所测得的三维数据传输给计算机。经数据修正和预处理 ,通过MATLAB...
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