摘要：现有微机电系统设计中所存在的一个重要问题是,设计人员需要通过工艺和版图设计来完成几何设计,因此难以用于复杂器件的设计。研究了表面微加工MEMS几何模型到工艺层模型的自动转化,旨在实现MEMS器件几何设计和工艺规划的分离,给出了表面微机械加工的工艺特征的定义和分类方法,并简要介绍了工艺特征的自动识别过程,重点研究了基于工艺特征模型的工艺层模型自动生成方法。最后给出了试验结果。

摘要：针对基于实体模型生成的微电机系统(MEMS)器件工艺层模型难以完全保证可制造性的问题,结合标准的表面微加工工艺,从可释放性、上下可结合性和腐蚀可制造性等方面分析了产生可制造问题的原因,并给出了可制造性评价方法.基于可制造性评价结果,进一步提出了一种生成改进建议的方法.实例分析表明,所提出的工艺层模型可制造性评价方法提高了MEMS器件的可制造性评价质量与效率,并使得设计人员能够更早地发现与更改设计中存在的可制造性问题.

摘要：基于MUMPS(Multi-User MEMS Processes多用户三层多晶硅表面微加工工艺流程)表面微加工工艺,根据其工艺特征,建立工艺层库。利用Pro/PROGRAM,编写自动装配工艺层模型程序,通过自主开发的软件,将工艺层模型直接导入到MEMS版图器中,从而实现三维模型到二维版图的自动转换。

摘要：CAD/CAM平台的系统开发是一种重要的开发方式,介绍了系统开发平台ACIS。阐述了平台的主要功能、开发接口和数据结构,并分析其各自特色。并以MUMPS表面微加工工艺为例,研究将几何模型自动转化为工艺特征模型,该方法可以跟传统机械CAD紧密结合,并实现了工艺层模型的自动构造。