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利用吸合电极实现亚微米电极间隙的可制造性设计
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《传感器与微系统》2024年 第1期43卷 103-106,110页
作者：郑超越 孙珂 钟朋 王放 杨恒中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室上海200050 中国科学院大学北京100049 
提出一种利用吸合电极结构的可制造性设计手段,实现亚微米电极间隙的方法。利用静电力拉动可动电极位移实现超出光刻和刻蚀能力的超窄间隙,使得敏感电极间隙由1.3μm减小至300nm,通过该方法获得的亚微米电极间隙对工艺离散性不敏感,电...
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