摘要：以红外光学和薄膜技术为理论背景,详细介绍了氧化铝基体表面3.7μm与4.8μm双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al_2O_3)由于其透光区域较宽,牢固度好,便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计算和双面镀制截止带通滤光膜的方案,通过速率控制、离子辅助等工艺方法研制成功了可靠性和光谱特性皆优的双波段带通滤光薄膜。分析认为设计结构和优化算法对于薄膜通带平坦度、截止深度以及透过率有着明显的影响。制备工艺方面,除了合适的蒸发速率外,采取缓慢蒸发和弱离子能量辅助也是很重要的关键技术,最终光谱透过率测试平均大于87%,通过了环境测试,符合使用要求。

摘要：对矩形波宽带通滤光片进行了深入研究,提出了一种设计、制备矩形波宽带通滤光片的方法。使用该方法设计并制备了400 nm~1 100 nm波段,中心波长λ_(0)=515 nm,透射带λ=λ_(0)±25 nm,透射带平均透射率τ≥92%,截止带λ=400 nm~475 nm、λ=555 nm~1 100 nm,截止带透射率小于0.1%的矩形波宽带通OD3-A滤光片。对样片光谱进行了测试,结果满足需求。该方法设计、制备矩形波宽带通滤光片克服了F-P型窄带滤光膜监控精度要求高、通带宽带窄、成本高以及传统长、短波截止膜组合方式膜层总厚度过大、通带透过率低、波形矩形度差的缺点。

摘要：光通信以其传输速率高、信息容量大、保密性能好、抗干扰能力强等优点,在通信领域得到了广泛应用,是未来信息网络的主要通信方式。光通信的信息载体是光波,为了进一步提高光通信系统中光信号的传输质量,满足光通信系统的使用要求,对高性能的带通滤光膜进行了研制。采用离子束溅射技术,以Ta_2O_5和SiO_2作为镀膜材料,设计了含有12个谐振腔的带通滤光膜,分析并解决了耦合层膜厚监控的问题。制备的带通滤光膜在1528～1571 nm处插入损耗小于0.2 dB,1470～1521 nm和1578～1651 nm处透射隔离度大于40 dB,满足实际使用要求。

摘要：在车载主动式红外夜视系统中,为满足光学系统对滤光膜的要求,提出一种800~1000nm带通滤光膜,以实现夜间大视觉范围、降低背景中杂散光干扰以及提高成像质量的要求。针对车载主动式红外夜视系统中带通滤光膜的参数要求,以薄膜材料应用技术为基础,优化、设计带通滤光膜系结构。采用OTFC-1300镀膜机制备薄膜,建立评价函数,通过牛顿迭代法优化薄膜结构,调节敏感膜层厚度,优化工艺,解决了实际镀制的薄膜通带中心区域透过率低,以及光谱曲线边缘起伏震荡大的问题,最终制作了光学性能好的滤光膜。测试表明:在800~1000nm波段平均透过率大于99%,在380~780nm波段平均透过率小于3%,在1064~1270nm波段平均透过率小于2%,该滤光膜可以满足车载主动式红外夜视系统环境使用要求。

摘要：以薄膜光学为背景,介绍了可见光波段变角度带通滤光膜的用途、设计与制备方法。基于波动光学原理,首先分析了带通滤光膜的光学特性以及变角度使用的难点,其次讨论了0°~33°入射时薄膜选材、测试、工艺制备等研究过程中的主要技术问题。利用薄膜软件进行优化计算后,结合光学控制与离子辅助工艺得到了吸收低、偏移量小与附着力良好的薄膜。目前相关的技术应用在地形勘测相机中达到了空间变角度高分辨率成像的效果。

摘要：光学薄膜技术广泛应用于几乎所有的光学系统、光电系统和光电仪器。新型探测器的发展对1~3μm近红外波段附近的能量响应提出了滤波的要求。从电磁场理论和麦克斯韦方程出发,介绍了光学薄膜的设计理论,论述了带通滤光膜的设计方法。基于Optilayer软件,以氧化铝为基底,设计了一种工作波段为1.3~2.7μm的近红外带通滤光膜。考虑到镀膜材料的匹配性问题,选择硫化锌和氟化镱作为高、低折射率材料。采用长波通与短波通相结合的设计方法,并用Optilayer软件完成了膜系的计算和优化。在氧化铝基底双面镀制膜,用电子束蒸发和离子束辅助沉积的制备工艺完成了膜系镀制。用分光光度计对制备样品进行了透过率测试。结果表明,在1.3~2.7μm设计波段,样品的平均透过率大于95%,符合带通滤光膜的设计要求。

摘要：以光学薄膜理论为出发点,系统介绍了3.7~4.8μm带通滤光膜的理论设计与优化、实际生产制备以及成品测试方法。考虑到膜料性能及膜层匹配等问题,分别选用锗和一氧化硅作为高低折射率材料,并以氧化铝作为薄膜基底。确定了滤光膜的基础膜系,并使用Filmaster软件对膜系进行了设计和优化计算。在薄膜蒸镀过程中,根据材料选取合适的镀制工艺。通过温度控制、离子辅助等方法研制出了可靠性与光谱特性皆优的带通滤光膜,并对其光谱特性及膜层质量等进行了测试。根据设计目标修改工艺参数,最终确定可行的工艺流程,从而研制出了符合光学性能设计指标的3.7~4.8μm带通滤光膜。

摘要：中波红外焦平面探测器因在红外制导导弹、红外夜视仪等军事领域的重要性而被广泛关注,其中带通滤光膜具有滤除杂散光和保护探测器的作用。本研究的目的是针对中波红外焦平面探测器滤光膜的关键技术问题,通过分析、选材、优化等方法,制备出性能良好的中波红外带通滤光膜。以Ge为高折射率材料和基底,以SiO为低折射率材料,设计了带通膜系结构。不仅实现了在0°入射角下对2.95~5.05μm波段大于92%的高透过率、通带宽度优于3.7~4.8μm的常规应用,而且对2.95~5.05μm之外的其它波段也能达到良好的截止效果。经测试,其光洁度、牢固性等各方面性能良好,可以很好地应用于中波红外焦平面探测器。

摘要：光纤作为光信号传输媒介，其具有传输速率高、信息量大等优点，因而在通信领域得到了广泛应用。在此背景下，为满足光纤通信系统的使用要求，对该系统中的帯通滤光膜进行研制。选用Ta2O5和SiO2作为镀膜材料，设计了含有5个谐振腔的带通滤光膜，分析并解决了耦合层膜厚监控的问题。制备的帯通滤光膜在1479～1504 nm 处插入损耗小于0.3 dB，1260～1450 nm 与1530～1620 nm 处透射隔离度分别大于39 dB和31 dB，满足该系统使用要求。