摘要：SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用设计的干式泵，用于太阳能光伏产业、大面积镀膜、工业炉等工业领域，用于解决苛刻的真空问题，如粉尘、焦油等。SCREWLINE系列有SP250及SP630两种规格，设计抽速为250～630m。／h，极限真空度可达到0．01mbar。SCREWLINE是无油真空泵，由于真空腔内没有油润滑，因此粉尘不会存留在泵腔内，而是随着气体从排气口排出泵外，无需处理废油，非常环保。

摘要：介绍了将 AL CATEL 公司生产的一台 ATP10 0涡轮分子泵、一台 MDP5 0 11牵引分子泵及一台 VRC公司生产的 1By6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷 ,较好地满足了使用要求 。

摘要：半导体生产中的薄膜沉积工艺通常对真空泵的要求很严格。在该工艺中高故障率和停机现象较为普遍。iH真空泵是特别为应付恶劣的薄膜工艺环境所设计。阐述了iH系列干泵在LPCVD氮化硅工艺应用中的成功表现。

摘要：Edwards公司在真空技术领域一直保持着领先地位，目前已在世界各地安装了成千上万台干泵。本次展会展示的CXS真空泵和组合采用先进的锥形螺杆技术，可实现卓越的性能和能效，处于化工泵设计的前沿。