摘要：随着微电子机械系统(MEMS)技术的发展,基于MEMS的光谱仪分光系统和光电检测系统研究报道日益增多,但是微型激发源的研究报道相对较少。文章介绍了一种基于表面微机械加工技术的微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,其RF功耗在数瓦以下、氩气消耗量远低于常规ICP激发源。阐述了这种激发源的结构、加工工艺流程及性能指标。同时还介绍了作者设计制作的基于PCB工艺的微型ICP激发源,采用了平面螺旋电感线圈和平面梳状交指电容,在100 Pa氩气气压下用13.56 MHz,3.5 W射频功率激励点燃了等离子体火炬,给出了装置的外观微型ICP火炬的照片。最后展望了该微型的ICP激发源在光谱仪中的应用前景。

摘要：新型柔性传感器在电子皮肤、智能纺织、柔性机器人等领域得到了广泛的研究。目前多数传感器需要连接刚性的采集电路,这限制了设备柔软性、舒适性和轻盈度的提升。提出了一种基于双层平面螺旋电感的柔性无线无源压力传感器。该传感包含三层柔性层:双层平面螺旋电感(天线层)、高磁导率铁氧体膜和弹性织物层。其中,双层平面螺旋电感层包括两个旋转方向相反的平面线圈,形成具有大电感量、大电容量的LC谐振器。外界压力载荷改变传感器的谐振频率,进而被外界接收线圈无线检测。通过研究四种双层螺旋电感天线层的结构设计,传感器的灵敏度最大可达到0.11 MHz/k Pa,检测距离达到18 mm。这种基于双层平面螺旋电感的柔性无线无源压力传感器打破了有线电气连接的限制,可在下一代医疗系统、智能机器人等领域中发挥巨大的应用潜能。

摘要：针对 CMOS RF平面螺旋电感的物理模型 ,提出了一种使用遗传算法优化电感设计参数的优化技术 .应用这种技术 ,人们无需再通过等 Q值线来求取 Q值最佳的电感设计方案 ,因为等 Q值线的计算代价很高 ,而且一旦工艺条件改变 ,所有的等 Q值线都要重新计算 ,效率很低 .而这里提出的优化技术在计算时并没有将所有的电感版图设计方案都计算一遍 ,因而计算效率大大提高 .计算结果与相应设计方案的测量参数比较 ,只有约 5 %的计算误差 .计算结果与相同条件下的等 Q值线的最佳设计方案比较 ,这种优化技术总能得出与之基本一致的最佳方案 .事实上 ,由于这种优化技术的灵活性 ,“真正”的最佳设计方案只能由这种优化技术得出 ,而等 Q值线只能得出“相对”

摘要：平面螺旋电感作为射频微波电路的重要基础元器件,在电路中发挥着储能、滤波和阻抗匹配等关键作用,因此设计符合小体积高性能要求的平面螺旋电感显得尤为重要。基于液晶聚合物(LCP)基板制作了一系列平面螺旋电感,建立了适用于LCP基板的平面螺旋电感集总参数等效电路模型。系统研究了线圈匝数、金属线宽和线圈形状变化对电感有效值、品质因数(Q值)和自谐振频率的影响规律,并且通过在电感接地面引入缺陷地结构,减小了接地面对电感磁通量的束缚,从而在保持自谐振频率基本不变的情况下,使电感有效值和品质因数得到显著提高,因此缺陷地结构对减小电感体积和性能提升具有重大意义。

摘要：从硅衬底RF集成电路中平面螺旋电感的品质因子Q的表达式出发 ,采用ADS软件模拟计算了平面螺旋集成电感L值与品质因子Q值 .通过两组电感Q值的对比 ,发现品质因子Q随着电感圈数的增加而减小 .以电感值为 3 2 8nH的设计为例 ,将电感圈数从 2增加到 6 ,计算得到的品质因子Q从 4 3(@1 1GHz)降低到 2 7(@1 4GHz) ,模拟计算结果与理论分析相吻合 .

摘要：通过将平面螺旋电感器中的单股宽导线分成并联的多条细导线而在电感中形成多电流路径结构,可以降低电感的高频损耗并提高其品质因数(Q值)。利用HFSS电磁仿真软件对具有多电流路径结构的螺旋电感进行了设计与优化。结果表明,在尺寸不变的情况下,采用了多电流路径结构的平面螺旋电感的Q值提高了80%以上,这为高Q值小型平面螺旋电感的研制提供了思路。

摘要：平面螺旋电感是射频集成电路中广泛应用的重要器件,它决定着一些组成关键电路的主要性能指标,因此对于平面螺旋电感进行优化设计显得极为重要.文章主要介绍通过对比研究片上螺旋电感参考地的布图方式、参考地的宽度和参考地距离中心线圈的距离等3个方面的不同配置对片上螺旋电感的影响来研究参考地的优化设计.电磁场仿真结果显示,参考地的引入会降低电感的感值L、恶化电感的品质因子Q,参考地越窄或者参考地越远,电感的感值越大,Q值越高,因此,可以通过配置参考地实现片上螺旋电感的优化设计.

摘要：设计和制备了一组6个平面螺旋电感,测量了其S参数,并基于电感等效电路提取了电感量和Q值等参数,对实验结果进行了详细的研究和分析,得出了一系列有用的结论.

摘要：该文着重分析金属线厚度对Q值的影响.为此设计了三组电感,它们的金属线厚度分别为51、0和20μm,并用Ansoft HFSS软件进行FEM(finite element method)的仿真.仿真的结果表明,金属线厚度对电感Q值的影响在很大程度上取决于电感内径的大小.因此当金属线厚度超过10μm时,通过进一步增加金属线厚度来改善Q值仍是可能的.

摘要：文章通过电磁场时域有限差分 (FDTD)算法与遗传算法 (GA)相结合进行平面螺旋电感设计。通过优化单元网格大小 ,可优化设计整个平面螺旋电感 (包含空气桥 )的结构尺寸。介绍了该方法既能够进行严格的电磁场求解 ,又可以避免繁杂的实验过程 。