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检索条件"主题词=开管扩散"
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砷化镓开管锌扩散及其扩散模型
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《河北工学院学报》1990年 第4期19卷 35-41页
作者：刘文杰 陈海新河北工学院电气工程系 秦皇岛市煤气公司 
本文利用特殊设计的石墨舟,作了GaAs开管Zn扩散实验,获得了质量较好的扩散片,取得了一系列实验结果,从而确定出最佳扩散条件.对不同扩散条件下的扩散片进行了SIMS测试,得到了Zn浓度反常分布曲线,提出一种新的扩散模型,对反常分布曲线给...
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