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真空阴极电弧离子源磁场分析与设计
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《真空与低温》2019年 第3期25卷 194-201页
作者：蒋钊 唐德礼 陈庆川 周晖 肖更竭 郑军 马占吉 杨拉毛草兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室兰州730000 核工业西南物理研究院成都610041 
真空阴极电弧离子源是多弧离子镀膜设备的核心部件,直接影响镀膜系统的整体性能。真空阴极电弧离子源在工作时,大液滴发射是阻碍电弧离子镀技术广泛深入应用的瓶颈问题。合理设计并利用磁场可以很好地控制弧斑运动,大幅度地减少液滴、...
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