摘要：采用ＫＯＨ：Ｈ２Ｏ的湿法化学腐蚀Ｓｉ｛１００｝晶片获得了球面轮廓曲线十分好的微透镜，透镜直径可从几个微米到几个毫米，焦距和孔径之比ｆ／Ｄ可以从２．５到１０以上。文章给出了微透镜及列阵的实验测试结果和若干显微照片，对其设计与制造建立了半经验理论模型。最后，对球面的形成原理及异常焦斑形状作了讨论。

摘要：近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了展望,MOEMS器件将在光通信、光开关、光数据存储、光互连等领域广泛应用.

摘要：变焦微透镜是一种新型的微光学元件,在诸多领域有着广阔的应用前景。基于折射率调控原理,提出了一种新型的可变双焦微透镜的实现方法。利用有限元方法,对可变双焦微透镜的调控全过程进行了数值模拟,具体包括电场空间分布、折射率空间分布以及光场空间分布。数值模拟表明,在不同调控电压下,可变双焦微透镜的焦点位置能够实现有效调控。这种微透镜具有结构简单、工艺制作简便、易于实现阵列型结构和易于与其它光子器件进行集成等特点,能够实现快速变焦调控,且不存在偏振依赖性。

摘要：SPIE-Vol.4019 0217346SPIE 会议录,卷4019:微机电系统/微光学机电系统的设计、测试、集成与封装=Proceedings of SPIE,Vol.4019:Design,test integration and packaging of MEMS/MOEMS[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—596P.(E)本会议录收集了在法国 Paris 召开的微机电系统/微光学机电系统的设计、测试与封装会议上发表的69篇论文,内容涉及微机电系统的计算机辅助设计,MEMS 惯性传感器的行为模拟,微光学系统的设计优化,CMOS 压控振荡器设计,表面微加工 MEMS 中高级故障模拟,CMOS 磁场传感器,硅光集成电路。

摘要：在光刻热熔成型以及电铸复制得到的柱面微透镜阵列镍模板基础上，采用铸塑工艺得到了高质量的PMMA柱面微透镜阵列。本文介绍了静态铸塑的模具设计、工艺过程、参数控制及测试分析。对柱面微透镜阵列的表面形貌分析表明，铸塑复制的面形误差小于0.5μm．

摘要：SPIE-Vol.4178 0305054SPIE 会议录,卷4178:微光学机电系统与微型系统=Proceedings of SPIE,Vol.4178:MOEMS and miniatur-ized systems[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—412P.(E)本会议录收集了在美国 Santa Clara 召开的微光学机电系统和微型系统会议上发表的43篇论文,内容涉及材料对微光学机电系统(MOEMS)的影响,MOEMS光学开关,束操纵与扫描,高频扫描用微扭矩镜,新型MOEMS 封装,用于显示的 MOEMS,光学处理与控制,波分复接,光学微腔设计与制造,集成傅里叶变换谱仪,大孔径 MOEMS 法布里-珀罗滤波器,光学MEMS 压力传感器阵列。

摘要：针对中短波碲镉汞(MCT)红外焦平面探测器的使用要求,设计了用于混合集成和单片集成且尺寸大小与探测器像元结构匹配的方形底折射微透镜阵列。采用热熔成形和(反应)离子束刻蚀转移技术制作了多种红外材料微透镜,如Si、Ge、GaAs、蓝宝石以及红外玻璃(IRG-103和IRG-104)微透镜。针对混合集成和单片集成的不同要求,选用多种光刻胶如AZ6112和AZ6130等不同厚度的胶以及SUN-120P低熔点正型光刻胶,进行热熔和刻蚀实验,遴选分别适用于混合和单片集成的光刻胶。优化光刻胶和衬底材料的刻蚀速率比,得到高填充因子和合适光学参数的微透镜阵列。探究了SUN-120P低熔点正型光刻胶的特性和通过离子束刻蚀转移视线实现零间距透镜的工艺。最后介绍了与MCT红外焦平面阵列器件的集成方式和工艺进展。

摘要：以微透镜阵列为例,分析了在软光刻技术中使用PDMS复制微结构的有效性。首先介绍了制作光刻胶微透镜阵列,使用软光刻技术通过两次转印制作PDMS凹微透镜阵列和凸SU-8微透镜阵列工艺流程;接着叙述了使用金相显微镜和白光干涉轮廓仪对微透镜阵列样品的表面轮廓进行测量的结果,并对样品不同尺寸、不同材料的微透镜阵列样品的测量值以及这些测量值与设计值之间差异进行了分析。分析结果表明,使用PDMS转印光刻胶上的微结构以及将PDMS薄膜作为模板把微结构转印到SU-8表面均是可行的、有效的。

摘要：4月8日晚,摩托罗拉g7 plus在京发布,一场“moto老友记”在现场召唤了五位摩托罗拉资深玩家。在现场,摩托罗拉产品规划总监高峰公布了g7 plus的产品亮点,凭借不懈的创新和技术迭代,摩托罗拉在4月迎来了开年第一款新品。外观设计方面,摩托罗拉g7 plus采用了0.1mm微光学彩色膜片,因此机身表面具有金属矿物质感。

摘要：在光刻热熔成型以及电铸复制得到的柱面微透镜阵列镍模板基础上，采用铸塑工艺得到了高质量的PMMA往面微透镜阵列。文中介绍了静态铸塑的模具设计、工艺过程、参数控制及测试分析。微透镜阵列面形误差小于0．5μum。光刻热熔技术可分为三个步骤：①光刻胶板在掩模的遮蔽下进行紫外曝光；②对已曝光的光刻胶板进行显影和清洗；③热熔成型。