摘要：为提高传统有限状态机(FSM)分析微制造数控系统(NCS)实时性特征的能力,提出了一种实时有限状态机(RTFSM)模型.该模型对传统FSM概念进行扩展,通过增加时间属性来描述状态行为的执行时间以及状态间切换所需的时间耗费.考虑到对复杂NCS控制流程进行设计、分析计算量较大,引入图论中的时间约束网络理论,采用经过修正的Floyd算法对模型中各个状态行为开始和结束时间的取值范围进行分析计算,从而实现控制流程的可调度性判定.实例研究表明,实时有限状态机可有效地建立微制造NCS控制流程模型,并降低对控制流程进行可调度性分析的复杂度,适用于NCS实时性研究.

摘要：介绍与论述了微制造工艺的发展方向和微制造的一种新途径——根据分子生物学原则 ,设计和合成或通过分子克隆制备生物聚合物 。

摘要：阐述了高频群脉冲电化学加工在微制造中的应用,介绍了群脉冲的产生、高频群脉冲电源从反向电流和压力波等方面对加工质量的影响以及微制造中阴极设计的原理并举例说明阴极设计过程,最后根据设计的小平面和某超薄结构件模具,进行高频群脉冲电化学加工的验证。试验表明:高频群脉冲电化学加工所带来的良好加工质量可以应用在微制造领域。

摘要：信息技术在微制造业的应用给传统的微制造业带来了新的气象,该文详细阐述了微制造业信息系统的概念,功能和重要性,随后介绍了国内外微制造信息系统的发展状况及存在的一些问题,最后针对微制造信息系统的发展前景进行了展望。

摘要：模板射流电沉积是一种微尺度加工的微成形方法,体现了增材制造的加工思想。微沉积过程中出现的沉积不均匀是阻碍增材加工过程的主要因素。通过对不同制备工艺参数下的沉积均匀性进行分析,并以有限元分析软件对阴极表面的电场分布进行了模拟,结合工艺实践得到沉积表面的电场分布规律。结果表明,采用电流密度300 A/dm^2、阴极喷嘴与阴极尺寸比例1∶1、施加屏蔽,可取得较好的均匀度,完成了对微型器件的制备。

摘要：将宏机械柔性铰链设计思想应用到硅微机械机构设计中,采用表面硅牺牲层工艺制作了结构层厚度为2 μm 的多晶硅薄膜型微机械柔性铰链及在线测试机构,对微米尺度柔性铰链的微机械性能进行了理论和试验研究。以直圆型多晶硅薄膜柔性铰链为例,对其转动刚度采用现有宏机械柔性铰链理论的计算值为8 N·μm／rad,试验测试结果为120N·μm／rad。宏理论计算和微机械测试结果之间的偏差较大,这表明在微尺度效应的影响下,宏机械柔性铰链理论模型不能直接用于薄膜型硅微机械柔性铰链的计算。根据试验数据对宏机械柔性铰链计算公式进行了修正,得到了描述薄膜型硅微机械柔性铰链静态特性的近似经验公式,可满足薄膜型硅微机械柔性铰链的设计与计算。

摘要：以JKR理论为基础,从刚毛缠结表面能的变化及弯曲变形角度分析,得到了仿刚毛阵列避免缠结的结构设计方法,得出了在材料性质确定的情况下,避免缠结的发生刚毛群几何结构须满足的关系。采用光刻制模真空浇铸的方法制备了4种结构尺寸的微米刚毛阵列。预期的设计与实际制造的刚毛阵列状态吻合,故证明该设计方法正确可行。

摘要：针对超薄金属结构件的电解加工问题，阐述了高频群脉冲电解加工（HGPECM）的信号构成、加工过程中频率对反向电流的影响以及阴极设计方法，并进行了工艺实验验证．实验结果表明：高频群脉冲能显著改善极间电解液流场特性并降低电极钝化而获得良好的加工效果；随主脉冲频率的升高，可明显改善加工质量，所获得的加工尺寸精度可达到30～40μm，粗糙度0．30-0．35μm的水平，证明高频群脉冲电解加工可成功应用于微小型零件的制造．

摘要：微透镜阵列的制备已经成为微光学领域的研究热点。利用两次X光移动光刻技术,以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为正光刻胶,在PMMA基板上制造了微透镜阵列,并对其制作原理进行了详细说明。设计了制备微透镜阵列用的掩膜图形,并通过掩膜图形模拟仿真,预测了微透镜在两次移动曝光显影后的形状。第一次X光移动光刻后,理论上会得到半圆柱状三维结构;第一次光刻后将掩膜板旋转90°,进行第二次移动曝光光刻,最终在PMMA基板上制备了面积为10 mm×10 mm的30×30个微透镜阵列,阵列中每个微透镜的直径约248μm、厚度约82μm。同时也研究了X光曝光量与PMMA刻蚀深度之间的关系。微透镜阵列形貌测试表明此种制备微透镜阵列的新方法是可行的。

摘要：利用硅单晶的特殊结构可以设计出不同角度的闪耀光栅,再使用MEMS的紫外光刻、各向异性腐蚀等常规工艺就可以完成硅闪耀光栅的制作。设计了一种利用偏转晶向(111)硅片制作小角度闪耀光栅的方法,避免了利用其它晶向的硅片制作闪耀光栅的缺点。利用这种方法制作了线宽为4μm的硅闪耀光栅,使用原子力显微镜(AFM)进行了光栅表面形貌测试,得到平均表面粗糙度为110.94nm,试验结果表明制作的硅光栅样片具有良好光学特性的反射表面和光栅槽形。